[seminar] Seminar na IF-u, 05.svibnja 2016. u 15:00 h

[Natasa Vujicic]

      Institut za fiziku, Bijenicka cesta 46,

      predavaonica u zgradi Mladen Paic

      cetvrtak, 05. svibnja 2016., u 15:00 sati
     
      Nestabilnosti u plazmama generirarnim rasprsenjem u magnetronskom izvoru 

       
     
      Dr. Ante Hecimovic 
     
       

      Institut za eksperimentalnu fiziku II, Ruhr Universität Bochum, Bochum

      E-mail: Ante.Hecimovic at rub.de 
     
       

      Magnetronsko rasprsenje (Magnetron sputtering) je standardna metoda za deponiranje tankih filmova. Svojstva plazme generirane rasprsenjem u magnetronskom izvoru ovise o broju vanjskih parametara, a ponajvise o izvoru napona i o postignutim nivoima snage. U ovom istrazivanju koristen je izvor napona niske snage u DC modu, te izvor napona visoke snage u tzv. High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) modu. Fokus istrazivanja je na prostornom i vremenskom razvoju plazme, pogotovo u HiPIMS modu te utjecaj na transportna svojstva plazme, o cemu ovise svojstva deponiranih tankih filmova. Koristenjem brze ICCD kamere otkriveno je da plazma nije homogena, vec da je lokalizirana u samo-organizirajucim uzorcima, poznatima kao ionizacijske zone ili spokes. Istrazivanjem svojstva ionizacijskih zona upotrebom raznih dijagnostika plazme pokusavaju se razumjeti fizicki procesi nastanka i odrzivosti ionizacijskih zona te njihov utjecaj na transportna svojstva plazme.

       
     
       

      Voditelji seminara IF-a: Natasa Vujicic i Damir Staresinic 

       
     

 
-------------- next part --------------
An HTML attachment was scrubbed...
URL: <http://www.phy.pmf.unizg.hr/pipermail/seminar/attachments/20160428/8bd9db5a/attachment-0001.html>
-------------- next part --------------
A non-text attachment was scrubbed...
Name: clip_image001.gif
Type: image/gif
Size: 73 bytes
Desc: not available
URL: <http://www.phy.pmf.unizg.hr/pipermail/seminar/attachments/20160428/8bd9db5a/attachment-0001.gif>
-------------- next part --------------
A non-text attachment was scrubbed...
Name: clip_image002.jpg
Type: image/jpeg
Size: 9859 bytes
Desc: not available
URL: <http://www.phy.pmf.unizg.hr/pipermail/seminar/attachments/20160428/8bd9db5a/attachment-0001.jpg>